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3. 壓力平衡器
無塵室的設備與耗材
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3. 壓力平衡器
又稱洩壓閥。此洩壓風門可以很方便地在室內調整無塵區域的室內外氣壓之正負壓差,並防止外界之污染空氣進入室內,亦可防止室內有害氣體外洩。
【延伸閱讀】
3大基本要件構成一個完善的抗靜電實驗室
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