無塵室的等級規範、微塵粒子大小比較圖

無塵室的等級規範、微塵粒子大小比較圖

無塵室依等級的不同,對一定空間內的微塵粒子最大容許量亦有一定規範,在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644。

 

※ 無塵室等級規範

無塵室標準 無塵室分類指標
ISO 14644-1 Class 3 Class 4 Class 5 Class 6 Class 7 Class 8
Federal Standard 209E 1 10 100 1,000 10,000 100,000
每小時空氣交換量 360-540 300-540 240-480 150-240 60-90 5-48
 

※ 微塵粒子數的潔淨度

ISO 分類等級 每單位空氣量的微塵粒子數上限濃度
  ≥0.1µm ≥0.2µm ≥0.3µm ≥0.5µm ≥1µm ≥5.0µm
ISO Class 1 10 2 - - - -
ISO Class 2 100 24 10 4 - -
ISO Class 3 1,000 237 102 35 8 -
ISO Class 4 10,000 2,370 1,020 352 83 -
ISO Class 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO Class 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO Class 7 - - - 352,000 83,200 2,930
ISO Class 8 - - - 3,520,000 832,000 29,300
ISO Class 9 - - - 35,200,000 8,320,000 293,000
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