什麼是無塵室呢? 無塵室又分成哪幾類呢?
※ 什麼是無塵室呢？
無塵室可視為一個嚴格控制環境的場所，將一定空間範圍內之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，並將室內之溫濕度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求範圍內，以符合要求，提高產品良率。
※ 無塵室又分成哪幾類呢？
無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別，可分為亂流式(Class 10,000~100,000)與層流式。
層流式又可分為垂直層流式(Class 10~1000)、水平層流式(Class 100~1,000)
層流式定義：層流式為單一流向氣流，不被任何不穩定的氣流干擾。
此型式的空氣氣流運動成一均勻之直線空氣由覆蓋率百分之百之過濾器進入室內，並由高架地板或兩側隔牆板回風，適用於潔淨室等級需求較高之環境使用。
※ 無塵室分類比較表格
| 氣流方式 | 亂流式（傳統式） | 垂直層流式 | 水平層流式 | |
|---|---|---|---|---|
| 流通方式 | 空氣由過濾器進入潔淨室，並由地板附近吸入。氣流非直線型運動而成不規則之亂流或渦流狀態。 | 天花板完全以HEPA過濾器覆蓋，空氣自天花板往鏤空的高架地板吹，可得較高之潔淨度。 | 空氣自過濾器單方向吹出，由對邊牆壁與天花板之回風系統回風，塵埃隨風向排於室外。 | |
| 無塵室適用等級 | Class 10,000~100,000 | Class 10~1,000 | Class 100~1,000 | |
| 建造成本 | 低 | 高 | 中 | |
| 運轉時的潔淨度 | 氣流的亂流汙染粒子可能在室內循環， 達穩定狀態需花一定時間 |
運轉後短時間內即可達穩定狀態 | 運轉後短時間內即可達穩定狀態 | |
| 設計變更 | 室內空間擴充容易 | 室內空間擴充較不容易 | 室內空間擴充較不容易 | |
亂流式
垂直層流式
